기타


제품개요
Showerhead, Chuck, Cathode, Plate 등의 반도체 공정內 내화학성과 내마모성, 내플라즈마성, 치밀성등이 요구되어지는 제품들
제품사양

▣ 제품 재질
  - ACM SiC (순도: 99.99% ~ 99.999%)
     바인더나 소결조제가 없는 고순도 SiC

▣ 생산 제품 규격
  - Ф1,300 * 2,000mm * 100t 이내
  - 1,300mm * 2,000mm * 100t 이내

문의 : 054-710-0100   이메일주소 : info@acmhq.com