Dummy Wafer


제품개요
생산웨이퍼의 빈자리를 매워 Batch단위의 공정이 진행될 수 있도록 하는 웨이퍼
제품사양

▣ 제품 재질
  - ACM SiC (순도: 99.99% ~ 99.999%)
     바인더나 소결조제가 없는 고순도 SiC

▣ 생산 제품 규격
  - 200mm (8”) & 300mm (12”)
  - 400mm (16”) 개발 중

▣ 물성표
항목 단위 ACM SiC
밀도 g/㎤ 3.11
비커스 경도 Hv 2,688
곡강도 MPa 450
파괴인성 MN/m2/3 4 ~ 4.5
열평창계수 10-3/K 4.3
열전도도 W/mK 230

문의 : 054-710-0100   이메일주소 : info@acmhq.com